重结晶碳化硅烧结炉
重结晶碳化硅烧结炉的用途：
用于重结晶碳化硅的高温烧结和高温热处理。
重结晶碳化硅烧结炉的特点：
1.高温可达2500℃，且可在2400℃高温下长期稳定工作；
2.炉型有上装料，下装料、真空或气氛保护等多种选择；
3.炉体双层水冷，密封性好，全密封结构，带真空抽气系统和氩气置换系统，保护了炉体内气体的纯度；
4.IGBT节能省电，采用立式真空感应加热方式，加热效率高，节能省电。
5.空载：升温速率高达600℃/h；
6.产品生产周期短，从入炉到出炉时间只需要24h-36h(大炉时间长）；
7.采用红外测温技术，PID分段程序控制升温曲线。控温精确，误差小。
8.安全性高，采用双层不锈钢炉壳，夹层通水冷却，炉外壳温度低于50℃。带有气压，水压和高温报警，同时备有超压泄气装置。
9.采用人机工控触摸屏进行操控和温度记录，操作方便又实用。
10.可根据工艺需要加装多级过滤系统，能有效的保护真空机组。
11.一机多炉模块组合结构，可实现一机配多炉。
重结晶碳化硅烧结炉的配置：
控制柜与炉体组合：一机一炉/一机二炉/一机四炉/一机六炉U
炉体结构：立式上开盖装料，立式下开盖装料
炉门：丝杠升降/液压升降/手动升降；手动锁紧
炉壳：内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：石墨毡/复合硬毡
工作温度：1600/2000/2400
工作气氛：高真空/低真空/氢气保护/惰性气体保护
加热器：钨/模压三高石墨/细颗粒石墨
真空泵、真空计和红外测温仪：进口/国产
中频电源：IGBT/KGPS
人机界面：触摸屏/工控机
PLC：欧姆龙/西门子
控温仪表：日本岛电/英国欧陆/国产宇电
记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产
电器元件：正泰/施耐德/西门子
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