用途
本化学气相沉积石墨化一体炉可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理、石墨件的表面增碳处理、石墨烯的生产。
特点
●采用多功能高温设计，可实现化学气相沉积和石墨化处理一次性完成。
●使用温度高达2600，并可长时间稳定可靠运行。
●采用热电偶和红外测温仪组合的测温自动转换系统，可实现全温度段的显示和控制。
●采用IGBT为主功率器件的感应加热变频控制系统，使得设备节能省电，谐波分量小，对外部设备无干扰。
●进出气体的精确流量显示和控制，保证了产品的稳定性。
●采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强;
●采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好;
●特制的过滤系统，对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理;
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